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ETSA高精度氣浮平臺(tái)系列
ETSA高精度氣浮平臺(tái)系列
氣浮平臺(tái)克服了傳統(tǒng)機(jī)械定位臺(tái)行程短，響應(yīng)滯后大，摩擦阻力等不足，實(shí)現(xiàn)了長行程高精度與高速定位功能，在半導(dǎo)體光刻設(shè)備，精密測(cè)量和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域中具有不可替代的作用。重復(fù)定位精度高，俯仰偏擺角度小，運(yùn)動(dòng)臺(tái)與導(dǎo)軌使用同種材料，在溫度變化較大的工況下不會(huì)出現(xiàn)氣浮臺(tái)常見的“抱死”現(xiàn)象。通過靜壓氣浮隔離機(jī)械運(yùn)動(dòng)副之間的接觸，提高平臺(tái)機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)精度、表面平滑、微小偏差（俯仰，偏擺等）、性能穩(wěn)定、沒有機(jī)械損耗、“零”摩擦可使其進(jìn)入納米級(jí)應(yīng)用。
典型應(yīng)用
• 精密加工 • 精密測(cè)量
• 微電子制造業(yè) • 光刻機(jī)平臺(tái)
• 半導(dǎo)體加工業(yè) • 掃描
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三英精控（天津）儀器設(shè)備有限公司是一家專注于超精密運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)和產(chǎn)品的專業(yè)制造商。我們致力于為高端裝備的制造以及科學(xué)研究儀器的研發(fā)提供超精密運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)的創(chuàng)新產(chǎn)品與解決方案。
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